紫外線により真空の改善、カーボンの除去等に役立ちます。 ベーキングができない(高温にできない）チャンバーにおいては効果があります。

データーシート

Ｍｉｎｉ－Ｚ

小型タイプです。コンパクトで試料室に最適です。

データーシート