低エネルギー型のイオンガンです。

　　

仕様

作動距離　　　　　　　20mm

ビームエネルギー　　　5 eV – 3keV (5keV option)

ラスターサイズ　　　　7 × 7mm (最少）

取り付けフランジ　　　ICF70

イオン種　　　　　　　He, Ne, Ar, Kr, Xe

ベーキング温度　　　　100℃(最大）

データーシート