加速電圧20 kVのイ オンガンです。

　　

仕様

スポットサイズ　　　　8 – 40μm (ビームエネルギー 20keV）

ビームエネルギー　　　5keV – 20keV 　　　　

取り付けフランジ　　　ICF114

イオン種　　　　　　　H2、He, N２等　

データシート