加速電圧50 kVのイオンガンです。試料へのHe注入や試料の放射線による損傷の測定等に使用されています。

　　

仕様

スポットサイズ　　　　5 – 25μm (ビームエネルギー 20keV）

ビームエネルギー　　　5keV – 50keV 　　

取り付けフランジ　　　ICF152

イオン種　　　　　　　H2、He, N2等

データーシート