差動排気型のクリーニングイオンガンです。600A/minの 高速エッチングタイプです。

　　

仕様

電流密度　　　　　　　15 – 50mA/ｃ㎡

スポットサイズ　　　　50 – 400μm (ビームエネルギー5 keV）

作動距離　　　　　　　25mm

ビームエネルギー　　　5kV (最大）

ラスターサイズ　　　　7 × 7mm (最少）

取り付けフランジ　　　ICF70

イオン種　　　　　　　He, Ne, Ar, Kr, Xe

ベーキング温度　　　　150℃(最大）

データーシート