試料のクリーニング等に使用しますスパッターイオ ンガンです。

　

仕様

ビームエネルギー　　500 eV – 2 keV（500 eVステップ）

ビーム径　　2.5 mm FWHM (作動距離25 mm）

最大試料電流　　10 uA (ビームエネルギー 2 keV）

フランジ    ICF70

作動距離　　25 – 50 mm (先端から試料まで）

イオン種　　アルゴン、ヘリウム、ネオン等

データーシート