差動排気型のクリーニングイオンガンです。600A/minの 高速エッチングタイプです。

仕様

電流密度　　　　　　　15 - 50mA/ｃ㎡

スポットサイズ　　　　50 - 400μm (ビームエネルギー5 keV）

作動距離　　　　　　　25mm

ビームエネルギー　　　5kV (最大）

ラスターサイズ　　　　7 × 7mm (最少）

取り付けフランジ　　　ICF70

イオン種　　　　　　　He, Ne, Ar, Kr, Xe

ベーキング温度　　　　150℃(最大）

データーシート

UHV マグナムカラム
UHV Magnum Column

低エネルギー型のイオンガンです。

仕様

作動距離　　　　　　　20mm

ビームエネルギー　　　5 eV - 3keV (5keV option)

ラスターサイズ　　　　7 × 7mm (最少）

取り付けフランジ　　　ICF70

イオン種　　　　　　　He, Ne, Ar, Kr, Xe

ベーキング温度　　　　100℃(最大）

データーシート

2レンズエレクトロンカラム
Two-Lens Electron Column

ウィンフィルター搭載型イオンガンです。

仕様

作動距離　　　　　　　20mm

ビームエネルギー　　　10eV - 5keV 

ラスターサイズ　　　　7 × 7mm (最少）

取り付けフランジ　　　ICF70

イオン種　　　　　　　H2、He, N2、Ne, Ar, Kr, Xe

ベーキング温度　　　　100℃(最大）

データーシート

加速電圧20 kVのイ オンガンです。

仕様

スポットサイズ　　　　8 - 40μm (ビームエネルギー 20keV）

ビームエネルギー　　　5keV - 20keV 　　　　

取り付けフランジ　　　ICF114

イオン種　　　　　　　H2、He, N２等　

データシート

加速電圧50 kVのイオンガンです。試料へのHe注入や試料の放射線による損傷の測定等に使用されています。

仕様

スポットサイズ　　　　5 - 25μm (ビームエネルギー 20keV）

ビームエネルギー　　　5keV - 50keV 　　

取り付けフランジ　　　ICF152

イオン種　　　　　　　H2、He, N2等

データーシート

Model 1403 イオンガン

Model 1403CS イオンガン

Model 1404 イオンガン

Model 1407 イオンガン

ショートキーエミッター
Schottky Emitter

単結晶タングステンワイヤー
Single Crystal Tungsten wire

液体金属イオン源
Liquid Metal Ion Sources