microCMA
小型のCMA型オージェです。既存の装置に取り付け オージェ分析を行えます。
仕様
取り付けフランジ ICF70
作動距離 3.5 mm
エネルギー分解能 固定(0.65%)
電子増倍管 Extended Dynamic Range Channelltron
最小スポットサイズ 150uM, 500uM defocused
Model 1401 イオンガン
差動排気型のクリーニングイオンガンです。600A/minの 高速エッチングタイプです。
仕様
電流密度 15 - 50mA/c㎡
スポットサイズ 50 - 400μm (ビームエネルギー5 keV)
作動距離 25mm
ビームエネルギー 5kV (最大)
ラスターサイズ 7 × 7mm (最少)
取り付けフランジ ICF70
イオン種 He, Ne, Ar, Kr, Xe
ベーキング温度 150℃(最大)
UHV マグナムカラム
UHV Magnum Column
アップグレード ESCA
IG2 Ion Source Package
試料のクリーニング等に使用しますスパッターイオ ンガンです。
仕様
ビームエネルギー 500 eV - 2 keV(500 eVステップ)
ビーム径 2.5 mm FWHM (作動距離25 mm)
最大試料電流 10 uA (ビームエネルギー 2 keV)
フランジ ICF70
作動距離 25 - 50 mm (先端から試料まで)
イオン種 アルゴン、ヘリウム、ネオン等
Model 1402 低エネルギーイオンガン
低エネルギー型のイオンガンです。
仕様
作動距離 20mm
ビームエネルギー 5 eV - 3keV (5keV option)
ラスターサイズ 7 × 7mm (最少)
取り付けフランジ ICF70
イオン種 He, Ne, Ar, Kr, Xe
ベーキング温度 100℃(最大)
2レンズエレクトロンカラム
Two-Lens Electron Column
9103 Picoammeter
USB接続で使い易く、電子ビーム、イオンビーム、質量分析等の電流測定に最適。
5 kV DC フローティングタイプ、500 read/secサンプリング周波数タイプもあります 。
仕様
USB接続 160 mW
測定レンジ 2 nA - 2 mA (分解能100 fA)
サンプリング周波数 40 reads/sec (標準)
入力保護 50 mA (フューズ)
レコーダー出力電圧 ± 2.000 V per range
Model 1402w ウィンフィルター搭載型イオンガン
ウィンフィルター搭載型イオンガンです。
仕様
作動距離 20mm
ビームエネルギー 10eV - 5keV
ラスターサイズ 7 × 7mm (最少)
取り付けフランジ ICF70
イオン種 H2、He, N2、Ne, Ar, Kr, Xe
ベーキング温度 100℃(最大)
Model 1420 20kVイオンガン
加速電圧20 kVのイ オンガンです。
仕様
スポットサイズ 8 - 40μm (ビームエネルギー 20keV)
ビームエネルギー 5keV - 20keV
取り付けフランジ ICF114
イオン種 H2、He, N2等
Model 1450 50kVイオンガン
加速電圧50 kVのイオンガンです。試料へのHe注入や試料の放射線による損傷の測定等に使用されています。
仕様
スポットサイズ 5 - 25μm (ビームエネルギー 20keV)
ビームエネルギー 5keV - 50keV
取り付けフランジ ICF152
イオン種 H2、He, N2等
その他の製品
Model 1403 イオンガン
Model 1403CS イオンガン
Model 1404 イオンガン
Model 1407 イオンガン
ショートキーエミッター
Schottky Emitter
単結晶タングステンワイヤー
Single Crystal Tungsten wire
液体金属イオン源
Liquid Metal Ion Sources