小型のCMA型オージェです。既存の装置に取り付け オージェ分析を行えます。

仕様

取り付けフランジ　　　　ICF70

作動距離　　　　　　　　3.5 mm

エネルギー分解能　　　　固定（0.65%)　

電子増倍管　　　　　　　Extended Dynamic Range Channelltron

最小スポットサイズ　　　150uM, 500uM defocused

データーシート

差動排気型のクリーニングイオンガンです。600A/minの 高速エッチングタイプです。

仕様

電流密度　　　　　　　15 - 50mA/ｃ㎡

スポットサイズ　　　　50 - 400μm (ビームエネルギー5 keV）

作動距離　　　　　　　25mm

ビームエネルギー　　　5kV (最大）

ラスターサイズ　　　　7 × 7mm (最少）

取り付けフランジ　　　ICF70

イオン種　　　　　　　He, Ne, Ar, Kr, Xe

ベーキング温度　　　　150℃(最大）

データーシート

UHV マグナムカラム
UHV Magnum Column

試料のクリーニング等に使用しますスパッターイオ ンガンです。

仕様

ビームエネルギー　　500 eV - 2 keV（500 eVステップ）

ビーム径　　2.5 mm FWHM (作動距離25 mm）

最大試料電流　　10 uA (ビームエネルギー 2 keV）

フランジ    ICF70

作動距離　　25 - 50 mm (先端から試料まで）

イオン種　　アルゴン、ヘリウム、ネオン等

データーシート

低エネルギー型のイオンガンです。

仕様

作動距離　　　　　　　20mm

ビームエネルギー　　　5 eV - 3keV (5keV option)

ラスターサイズ　　　　7 × 7mm (最少）

取り付けフランジ　　　ICF70

イオン種　　　　　　　He, Ne, Ar, Kr, Xe

ベーキング温度　　　　100℃(最大）

データーシート

2レンズエレクトロンカラム
Two-Lens Electron Column

USB接続で使い易く、電子ビーム、イオンビーム、質量分析等の電流測定に最適。

5 kV DC フローティングタイプ、500 read/secサンプリング周波数タイプもあります 。

仕様

USB接続　　　　　 　160 mW 

測定レンジ　　　　　  2 nA - 2 mA (分解能100 fA)

サンプリング周波数　　40 reads/sec (標準）

入力保護　　　　　　　50 mA (フューズ）

レコーダー出力電圧　　± 2.000 V per range 

データーシート

ウィンフィルター搭載型イオンガンです。

仕様

作動距離　　　　　　　20mm

ビームエネルギー　　　10eV - 5keV 

ラスターサイズ　　　　7 × 7mm (最少）

取り付けフランジ　　　ICF70

イオン種　　　　　　　H2、He, N2、Ne, Ar, Kr, Xe

ベーキング温度　　　　100℃(最大）

データーシート

加速電圧20 kVのイ オンガンです。

仕様

スポットサイズ　　　　8 - 40μm (ビームエネルギー 20keV）

ビームエネルギー　　　5keV - 20keV 　　　　

取り付けフランジ　　　ICF114

イオン種　　　　　　　H2、He, N２等　

データシート

紫外線により真空の改善、カーボンの除去等に役立ちます。 ベーキングができない(高温にできない）チャンバーにおいては効果があります。

データーシート

Ｍｉｎｉ－Ｚ

小型タイプです。コンパクトで試料室に最適です。

データーシート

加速電圧50 kVのイオンガンです。試料へのHe注入や試料の放射線による損傷の測定等に使用されています。

仕様

スポットサイズ　　　　5 - 25μm (ビームエネルギー 20keV）

ビームエネルギー　　　5keV - 50keV 　　

取り付けフランジ　　　ICF152

イオン種　　　　　　　H2、He, N2等

データーシート

Model 1403 イオンガン

Model 1403CS イオンガン

Model 1404 イオンガン

Model 1407 イオンガン

ショートキーエミッター
Schottky Emitter

単結晶タングステンワイヤー
Single Crystal Tungsten wire

液体金属イオン源
Liquid Metal Ion Sources