Model 1401 イオンガン
差動排気型のクリーニングイオンガンです。600A/minの 高速エッチングタイプです。
仕様
電流密度 15 - 50mA/ｃ㎡
スポットサイズ 50 - 400μm (ビームエネルギー5 keV）
作動距離 25mm
ビームエネルギー 5kV (最大）
ラスターサイズ 7 × 7mm (最少）
取り付けフランジ ICF70
イオン種 He, Ne, Ar, Kr, Xe
ベーキング温度 150℃(最大）
Model 1402 低エネルギーイオンガン
低エネルギー型のイオンガンです。
仕様
作動距離 20mm
ビームエネルギー 5 eV - 3keV (5keV option)
ラスターサイズ 7 × 7mm (最少）
取り付けフランジ ICF70
イオン種 He, Ne, Ar, Kr, Xe
ベーキング温度 100℃(最大）
Model 1402w ウィンフィルター搭載型イオンガン
ウィンフィルター搭載型イオンガンです。
仕様
作動距離 20mm
ビームエネルギー 10eV - 5keV
ラスターサイズ 7 × 7mm (最少）
取り付けフランジ ICF70
イオン種 H2、He, N2、Ne, Ar, Kr, Xe
ベーキング温度 100℃(最大）
Model 1420 20kVイオンガン
加速電圧20 kVのイ オンガンです。
仕様
スポットサイズ 8 - 40μm (ビームエネルギー 20keV）
ビームエネルギー 5keV - 20keV
取り付けフランジ ICF114
イオン種 H2、He, N２等
Model 1450 50kVイオンガン
加速電圧50 kVのイオンガンです。試料へのHe注入や試料の放射線による損傷の測定等に使用されています。
仕様
スポットサイズ 5 - 25μm (ビームエネルギー 20keV）
ビームエネルギー 5keV - 50keV
取り付けフランジ ICF152
イオン種 H2、He, N2等
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