有限会社テクニカルラボ

Nonsequitur Technologies

 
 

Model 1401 イオンガン

差動排気型のクリーニングイオンガンです。600A/minの 高速エッチングタイプです。

  

仕様

電流密度       15 - 50mA/c㎡

スポットサイズ    50 - 400μm (ビームエネルギー5 keV)

作動距離       25mm

ビームエネルギー   5kV (最大)

ラスターサイズ    7 × 7mm (最少)

取り付けフランジ   ICF70

イオン種       He, Ne, Ar, Kr, Xe

ベーキング温度    150℃(最大)

Model 1402 低エネルギーイオンガン

低エネルギー型のイオンガンです。

  

仕様

作動距離       20mm

ビームエネルギー   5 eV - 3keV (5keV option)

ラスターサイズ    7 × 7mm (最少)

取り付けフランジ   ICF70

イオン種       He, Ne, Ar, Kr, Xe

ベーキング温度    100℃(最大)

Model 1402w ウィンフィルター搭載型イオンガン

ウィンフィルター搭載型イオンガンです。

  

仕様

作動距離       20mm

ビームエネルギー   10eV - 5keV 

ラスターサイズ    7 × 7mm (最少)

取り付けフランジ   ICF70

イオン種       H2、He, N2、Ne, Ar, Kr, Xe

ベーキング温度    100℃(最大)

Model 1420 20kVイオンガン

加速電圧20 kVのイ オンガンです。

  

仕様

スポットサイズ    8 - 40μm (ビームエネルギー 20keV)

ビームエネルギー   5keV - 20keV     

取り付けフランジ   ICF114

イオン種       H2、He, N2等 

Model 1450 50kVイオンガン

加速電圧50 kVのイオンガンです。試料へのHe注入や試料の放射線による損傷の測定等に使用されています。

  

仕様

スポットサイズ    5 - 25μm (ビームエネルギー 20keV)

ビームエネルギー   5keV - 50keV   

取り付けフランジ   ICF152

イオン種       H2、He, N2等

その他の製品

Model 1403 イオンガン

Model 1403CS イオンガン

Model 1404 イオンガン

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