小型のCMA型オージェです。既存の装置に取り付け オージェ分析を行えます。

　

仕様

取り付けフランジ　　　　ICF70

作動距離　　　　　　　　3.5 mm

エネルギー分解能　　　　固定（0.65%)　

電子増倍管　　　　　　　Extended Dynamic Range Channelltron

最小スポットサイズ　　　150uM, 500uM defocused

データーシート