小型のCMA型オージェです。既存の装置に取り付け オージェ分析を行えます。

仕様

取り付けフランジ　　　　ICF70

作動距離　　　　　　　　3.5 mm

エネルギー分解能　　　　固定（0.65%)　

電子増倍管　　　　　　　Extended Dynamic Range Channelltron

最小スポットサイズ　　　150uM, 500uM defocused

データーシート

試料のクリーニング等に使用しますスパッターイオ ンガンです。

仕様

ビームエネルギー　　500 eV - 2 keV（500 eVステップ）

ビーム径　　2.5 mm FWHM (作動距離25 mm）

最大試料電流　　10 uA (ビームエネルギー 2 keV）

フランジ    ICF70

作動距離　　25 - 50 mm (先端から試料まで）

イオン種　　アルゴン、ヘリウム、ネオン等

データーシート

USB接続で使い易く、電子ビーム、イオンビーム、質量分析等の電流測定に最適。

5 kV DC フローティングタイプ、500 read/secサンプリング周波数タイプもあります 。

仕様

USB接続　　　　　 　160 mW 

測定レンジ　　　　　  2 nA - 2 mA (分解能100 fA)

サンプリング周波数　　40 reads/sec (標準）

入力保護　　　　　　　50 mA (フューズ）

レコーダー出力電圧　　± 2.000 V per range 

データーシート

紫外線により真空の改善、カーボンの除去等に役立ちます。 ベーキングができない(高温にできない）チャンバーにおいては効果があります。

データーシート

Ｍｉｎｉ－Ｚ

小型タイプです。コンパクトで試料室に最適です。

データーシート