microCMA
小型のCMA型オージェです。既存の装置に取り付け オージェ分析を行えます。
仕様
取り付けフランジ ICF70
作動距離 3.5 mm
エネルギー分解能 固定(0.65%)
電子増倍管 Extended Dynamic Range Channelltron
最小スポットサイズ 150uM, 500uM defocused
IG2 Ion Source Package
試料のクリーニング等に使用しますスパッターイオ ンガンです。
仕様
ビームエネルギー 500 eV - 2 keV(500 eVステップ)
ビーム径 2.5 mm FWHM (作動距離25 mm)
最大試料電流 10 uA (ビームエネルギー 2 keV)
フランジ ICF70
作動距離 25 - 50 mm (先端から試料まで)
イオン種 アルゴン、ヘリウム、ネオン等
9103 Picoammeter
USB接続で使い易く、電子ビーム、イオンビーム、質量分析等の電流測定に最適。
5 kV DC フローティングタイプ、500 read/secサンプリング周波数タイプもあります 。
仕様
USB接続 160 mW
測定レンジ 2 nA - 2 mA (分解能100 fA)
サンプリング周波数 40 reads/sec (標準)
入力保護 50 mA (フューズ)
レコーダー出力電圧 ± 2.000 V per range