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スパッターイオンガン IG2 Ion Source Package 試料のクリーニング等に使用しますスパッターイオ ンガンです。   仕様 ビームエネルギー  500 eV – 2 keV(500 eVステッ

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コンパクトオージェアナライザー microCMA 小型のCMA型オージェです。既存の装置に取り付け オージェ分析を行えます。   仕様 取り付けフランジ    ICF70 作動距離        3.5 mm エネルギー

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