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Model 1450 50kVイオンガン 加速電圧50 kVのイオンガンです。試料へのHe注入や試料の放射線による損傷の測定等に使用されています。 　　 仕様 スポットサイズ　　　　5 – 25μm (ビーム …

Model 1420 20kVイオンガン 加速電圧20 kVのイ オンガンです。 　　 仕様 スポットサイズ　　　　8 – 40μm (ビームエネルギー 20keV） ビームエネルギー　　　5keV &#82 …

Model 1402w ウィンフィルター搭載型イオンガン ウィンフィルター搭載型イオンガンです。 　　 仕様 作動距離　　　　　　　20mm ビームエネルギー　　　10eV – 5keV  ラスター …

Model 1402 低エネルギーイオンガン 低エネルギー型のイオンガンです。 　　 仕様 作動距離　　　　　　　20mm ビームエネルギー　　　5 eV – 3keV (5keV option) ラスターサ …

Model 1401 イオンガン 差動排気型のクリーニングイオンガンです。600A/minの 高速エッチングタイプです。 　　 仕様 電流密度　　　　　　　15 – 50mA/ｃ㎡ スポットサイズ　　　　50 …